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MC20A-30134

MKS | MC20A-30134 | MASSENFLUSSREGLER


  • :

    MC20A-30134 0.74 kg 7.1 cm x 13.3 cm x 21.1 cm 2022 Germany CO,CQ MASS FLow CONTROLLERS

Produktbeschreibung:

Die al-digital ALTA Mass Flow Controller (MFC) umfassen technologische Verbesserungen in Funktionalität und Leistung, um Anwendern in Halbleiter- und hochreinen Dünnschichtanwendungen dabei zu helfen, den Werkzeugdurchsatz zu steigern und die Gesamtsystemkosten zu senken. Um den Gesamtsystemdurchsatz zu erhöhen , verfügt der ALTA MFC über schnelle Gaseinstellungszeiten, um den Produktivitätsanforderungen von Prozessanlagen der nächsten Generation gerecht zu werden. Um eine bessere Kammeranpassung zu ermöglichen,
verfügt der ALTA über eine verbesserte Genauigkeit von 1 % des Sollwerts. Kosteneinsparungen für Benutzer werden durch mehrere innovative Verbesserungen erzielt. Um die Anzahl der MFCs im Bestand zu reduzieren , können Benutzer bestimmte MFC-Gaskalibrierungen und Durchflussbereiche aus bis zu 20 gespeicherten Gastabellen abrufen und so den ALTA MFC sofort konfigurieren. Der ALTA steht für das kontinuierliche Engagement von MKS, Kunden dabei zu helfen, ihre Produktivität zu steigern und gleichzeitig die Systemkosten zu senken.


Manager John  zitiert Ihnen

 sales3@askplc.com         +86 18150117685


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